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1 0 0 0 4H-SiC 厚膜エピの高注入ライフタイムおよび拡散長推定

著者
(M2)長屋 圭祐 平山 貴史 宮坂 晶 児島 一聡 加藤 智久 奥村 元 加藤 正史
出版者
応用物理学会
雑誌
2019年第80回応用物理学会秋季学術講演会
巻号頁・発行日
2019-07-10

1 0 0 0 4H-SiC厚膜エピにおける深さ分解ライフタイム測定

著者
(M1)平山 貴史 櫛部 光弘 宮坂 晶 児島 一聡 加藤 智久 奥村 元 加藤 正史
出版者
応用物理学会
雑誌
2018年第79回応用物理学会秋季学術講演会
巻号頁・発行日
2018-07-10

1 0 0 0 OA 4H-SiC中Al準位の正孔捕獲断面積

著者
(M2)景 荻 加藤 正史 市村 正也 児島 一聡
出版者
応用物理学会
雑誌
2015年 第76回応用物理学会秋季学術講演会
巻号頁・発行日
2015-07-17