著者

LENGGORO WULED

出版者

東京農工大学

雑誌

基盤研究(C)

巻号頁・発行日

2011

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ナノ粒子合成技術と高い選択性をもつ粒子集積化技術を用いて、気相プロセスに液相法の利点を組み込んだ「複合型ナノ材料プロセッシング」を開発した。静電気力を用いて、気中におけるナノ粒子の輸送と基板上のナノ粒子群の構造を制御し、高感度の環境センサ素子を構成するナノ粒子構造体における最適な幾何学的構造モデルを試みた。材料とする懸濁液を用い、その後のプロセスを気相において行う輸送制御技術を開発した。構造体の形成技術として、安定した懸濁液の調整とエアロゾル化技術、静電気力を用いた気中での粒子の輸送・制御技術、基板の帯電パターニングによる粒子集積制御技術を開発し、一連の技術の高度化を行った。