著者

谷地舘 藍 佐藤 弘二 佐藤 彰 薮上 信 小澤 哲也 小林 伸聖 中居 倫夫 荒井 賢一 Ai Yachidate Koji Sato Akira Sato Shin Yabukami Tetsuya Ozawa Nobukiyo Kobayashi Tomoo Nakai Arai Ken Ichi

雑誌

【A】基礎・材料・共通部門 マグネティックス研究会

巻号頁・発行日

2010-12-16

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センサ素子全体を薄膜プロセスにより作成した伝送線路型薄膜磁界センサを試作した。アモルファスCoNbZr薄膜とコプレーナ型伝送線路を組み合わせ、被測定磁界に対するキャリア信号の位相変化を検出対象とする磁界センサを製作した。試作した磁界センサのインピーダンスおよび位相変化を測定し、その結果を報告する。