著者

谷地舘 藍 佐藤 弘二 佐藤 彰 薮上 信 小澤 哲也 小林 伸聖 中居 倫夫 荒井 賢一 Ai Yachidate Koji Sato Akira Sato Shin Yabukami Tetsuya Ozawa Nobukiyo Kobayashi Tomoo Nakai Arai Ken Ichi

雑誌

【A】基礎・材料・共通部門 マグネティックス研究会

巻号頁・発行日

2010-12-16

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センサ素子全体を薄膜プロセスにより作成した伝送線路型薄膜磁界センサを試作した。アモルファスCoNbZr薄膜とコプレーナ型伝送線路を組み合わせ、被測定磁界に対するキャリア信号の位相変化を検出対象とする磁界センサを製作した。試作した磁界センサのインピーダンスおよび位相変化を測定し、その結果を報告する。

著者

小澤 哲也 山田 洋 佐藤 弘二 小島 健 薮上 信 小林 伸聖 中居 倫夫 荒井 賢一

出版者

公益社団法人 日本磁気学会

雑誌

Journal of the Magnetics Society of Japan (ISSN:18822924)

巻号頁・発行日

vol.37, no.1, pp.1-7, 2013-01-01 (Released:2013-01-08)

参考文献数

12

被引用文献数

10

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We report the results we obtained from applying a magnetic system to detect cracks using a thin film magnetic field sensor to measure the hole of aluminum. The thin film magnetic field sensor consisted of a coplanar line and amorphous CoFeSiB film. The main characteristic of the sensor is that the phase of the carrier signal changes when a magnetic field is applied. The sensitivity of the developed sensor was 70 deg./Oe. We used the thin film magnetic field sensor in an experiment to measure leakage magnetic flux from the surface of the aluminum while applying an AC magnetic field to the aluminum. The surface of the aluminum was scanned by an electric stage with a motor. The phase value of the sensor was converted to a voltage value, and then measured with a lock-in amplifier. As a result, the hole of aluminum was detected by measuring the distribution of the leak magnetic flux on the aluminum surface.