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1 0 0 0 4H-SiCのSi・C面表面再結合速度 -測定・解析精度向上による再検討-

著者
加藤 正史 Zhang Xinchi 小濱 公洋 市村 正也
出版者
応用物理学会
雑誌
2018年第79回応用物理学会秋季学術講演会
巻号頁・発行日
2018-07-10

1 0 0 0 OA 4H-SiC (11`20) a面の表面再結合速度

著者
加藤 正史 小濱 公洋 Zhang Xinchi 市村 正也 木本 恒暢
出版者
応用物理学会
雑誌
2017年第78回応用物理学会秋季学術講演会
巻号頁・発行日
2017-07-21