著者

富永 五郎

出版者

東京大学生産技術研究所

雑誌

生産研究 (ISSN:0037105X)

巻号頁・発行日

vol.20, no.10, pp.479-485, 1968-10-01

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現在すでに超高真空は実用の域に達しているが,<10-10Torr以下の極高真空技術は開発の緒についたところである.10-11~10-12Torrの真空をつくることはそれほど困難ではないが,しかし,なにぶんにもこのような真空を測定する確実な方法が確立していない.この分野にどのような問題があり,どのように解決されようとしているかを概観する.