著者
保坂 勇志
出版者
国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構
雑誌
若手研究
巻号頁・発行日
2018-04-01

EUVレジスト性能を電子線(EB)によって評価する手法について研究を行った。EUV照射時の特徴的な初期電子分布を再現するため、100 eV程度の超低エネルギーEB照射装置の開発を行った。超低エネルギーEBを照射したサンプル表面ではナノメートルオーダーの形状変化が確認された。また、レジストへの短パルスEUV照射試験を行った。ピコ秒EUV照射ではレジストの高感度化が確認され、X線光電子分光により照射後の化学構造の違いも観測されている。他にEB描画時の後方散乱の影響について電子散乱シミュレーションによる検討を行った。線幅100 nm以上ではEB描画の結果からEUV描画感度予測が可能となった。

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@1p_semicon 「電子線を用いたEUVリソグラフィの加工性能評価法の確立」という研究もされているので近い評価ができ、相性が良いのかも?と適当に言ってみる。(レジストの感度評価予測が可能な線幅は100nm以上になるようです。弊所も電子描画機あるから気合入れれば出来るか?) https://t.co/pRtcwBGi7R
@1p_semicon 「電子線を用いたEUVリソグラフィの加工性能評価法の確立」という研究もされているので近い評価ができ、相性が良いのかも?と適当に言ってみる。(レジストの感度評価予測が可能な線幅は100nm以上になるようです。弊所も電子描画機あるから気合入れれば出来るか?) https://t.co/pRtcwBGi7R

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