1 0 0 0 OA SiCインゴットの新しいレーザスライシング —KABRAプロセスの開発—
- 著者
- 平田 和也 山本 涼兵 西野 曜子 村澤 尚樹 高橋 邦充
- 出版者
- 公益社団法人 精密工学会
- 雑誌
- 精密工学会誌 (ISSN:09120289)
- 巻号頁・発行日
- vol.83, no.9, pp.829-832, 2017-09-05 (Released:2017-09-05)
- 参考文献数
- 5
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SiCインゴットの新しいレーザスライシング KABRAプロセスの開発
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