著者
飯渕 良平 莅戸 立夫 水野 皓司 水野 皓司
出版者
一般社団法人電子情報通信学会
雑誌
電子情報通信学会技術研究報告 (ISSN:09135685)
巻号頁・発行日
vol.103, no.370, pp.25-30, 2003-10-21

スリット型プローブを用いたミリ波帯走査型近接場顕微鏡において,検査対象の異方性を考慮した新たな画像再構成法を提案し,その妥当性の検証を行った。提案した画像再構成法により,表面内において異方性を有するワイヤーグリッド等の異方性の画像化に成功した。

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