著者

飯渕 良平 莅戸 立夫 水野 皓司 水野 皓司

出版者

一般社団法人電子情報通信学会

雑誌

電子情報通信学会技術研究報告 (ISSN:09135685)

巻号頁・発行日

vol.103, no.370, pp.25-30, 2003-10-21

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スリット型プローブを用いたミリ波帯走査型近接場顕微鏡において,検査対象の異方性を考慮した新たな画像再構成法を提案し,その妥当性の検証を行った。提案した画像再構成法により,表面内において異方性を有するワイヤーグリッド等の異方性の画像化に成功した。

著者

浜野 哲子 縫村 修次 渡辺 文夫 莅戸 立夫 〓 鐘石 水野 皓司

出版者

一般社団法人電子情報通信学会

雑誌

電子情報通信学会技術研究報告. MW, マイクロ波 (ISSN:09135685)

巻号頁・発行日

vol.100, no.366, pp.1-6, 2000-10-13

参考文献数

6

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ミリ波帯走査型近接場顕微鏡は, 波長以下の高い空間分解能によるの非破壊材料検査等の利用が期待されている.本近接場顕微鏡システムでは, 物体からの反射係数がコントラストとして画像化される.そのため, 例えば比誘電率などの, 直接反射係数に変化を与える物体の物性定数を, コントラストから評価することが可能である.本発表では, コントラストの定量評価実現に向けた検討として, 以下の2点について報告する.1)測定値の誤差を与える原因は有限サイズの平板誘電体にあることを突きとめ, 平板誘電体の表面波伝搬が低減されるようにシステム構造の改善を行なった.その結果, 10%以上あった測定不確定率が5%以内に低減された.2)コントラストの定量評価には, 物性定数と反射係数との相関関係を理論予測する必要がある.そこで, スリット型プローブを有する本近接場顕微鏡システムの等価回路を新たに構成し, その妥当性を実験的に確認した.

著者

莅戸 立夫

出版者

一般社団法人 日本液晶学会

雑誌

日本液晶学会討論会講演予稿集 2006年 日本液晶学会討論会 (ISSN:18803490)

巻号頁・発行日

pp.83, 2006 (Released:2008-03-13)

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回折限界を超える分解能で物体を観察することが可能な走査型近接場顕微鏡の研究開発は,現在では電波から光に至る幅広い電磁波領域で活発に進められている。本講演では,誘電体材料,半導体基板,金属材料等の特性評価,物体表面の段差計測,高周波回路の特性評価といった応用分野で注目を集めている,マイクロ波,ミリ波といった高周波帯における走査型近接場顕微鏡技術の開発現状についてその概要を説明する。次に,我々が開発を行っている,スリット型プローブを用いたミリ波帯走査型近接場顕微鏡システムを紹介する。

著者

莅戸 立夫 裴 鐘石 水野 皓司

出版者

一般社団法人 電気学会

雑誌

電気学会論文誌C(電子・情報・システム部門誌) (ISSN:03854221)

巻号頁・発行日

vol.119, no.10, pp.1100-1104, 1999-10-01 (Released:2008-12-19)

参考文献数

24

著者

伊藤 吉紀 莅戸 立夫 ハガード ピーター エリソン ブライアン 伊藤 弘 石橋 忠夫 水野 皓司

出版者

一般社団法人電子情報通信学会

雑誌

電子情報通信学会技術研究報告. MW, マイクロ波 (ISSN:09135685)

巻号頁・発行日

vol.102, no.407, pp.71-76, 2002-10-17

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ドットマトリクス型単一走行キャリアフォトダイオードをマウントした新型の導波管型フォトミクサを製作し,その特性評価を行った.波長1.55μm帯の二波長混合光をフォトダイオードに照射して高周波電流を誘起することにより,周波数75GHz〜450GHzの短ミリ波の発生を実験的に確認することに成功した.