- 著者
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渡辺 功
中村 慶久
- 出版者
- 一般社団法人電子情報通信学会
- 雑誌
- 電子情報通信学会総合大会講演論文集
- 巻号頁・発行日
- vol.1995, no.2, 1995-03-27
最近、アルミニウム合金製チャンバーを用いた真空装置で、高真空の実績が報告されつつある。磁気記録磁性膜をスパッタ法で高速かつ安定に製作するために、アルミニウム合金製チャンバーにNb-PermalloyのPEターゲットを組み込み、スパッタしたところ、低温、短時間のベーキング処理でも高真空が得られた。さらに、基板ホルダーに熱伝導率の高いアルミニウムを用いることによって基板の冷却が充分に行われ、高い投入電力でも磁気特性の良好な軟磁製膜が得られたので報告する。