著者

三宅 正二郎 橋爪 剛 渡部 修一

出版者

一般社団法人電子情報通信学会

雑誌

電子情報通信学会技術研究報告. EMD, 機構デバイス (ISSN:09135685)

巻号頁・発行日

vol.103, no.366, pp.25-28, 2003-10-10

被引用文献数

1

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新しい固体潤滑膜を開発するため銀と金のナノ周期積層膜をRFスパッタリングで形成した。ナノインデンテーション試験によれば、ナノ周期積層膜は高硬度を示す。さらにボールオンディスク試験によると4-nm周期積層膜はμ=0.05の低摩擦を示し、銀、金単屠膜より長摩擦寿命を示す。また、摩擦による電気抵抗の変化は単層膜より著しく小さい。