1 0 0 0 OA 原子間力顕微鏡(AFM)高密度メモリー
- 著者
- 三宅 正二郎
- 出版者
- 一般社団法人 表面技術協会
- 雑誌
- 表面技術 (ISSN:09151869)
- 巻号頁・発行日
- vol.55, no.12, pp.858-858, 2004 (Released:2005-09-27)
- 参考文献数
- 21
- 被引用文献数
- 2 1
1 0 0 0 ナノ周期積層構造を有する導電性固体潤滑膜(トライボロジ, 一般)
- 著者
- 三宅 正二郎 橋爪 剛 渡部 修一
- 出版者
- 一般社団法人電子情報通信学会
- 雑誌
- 電子情報通信学会技術研究報告. EMD, 機構デバイス (ISSN:09135685)
- 巻号頁・発行日
- vol.103, no.366, pp.25-28, 2003-10-10
- 被引用文献数
- 1
新しい固体潤滑膜を開発するため銀と金のナノ周期積層膜をRFスパッタリングで形成した。ナノインデンテーション試験によれば、ナノ周期積層膜は高硬度を示す。さらにボールオンディスク試験によると4-nm周期積層膜はμ=0.05の低摩擦を示し、銀、金単屠膜より長摩擦寿命を示す。また、摩擦による電気抵抗の変化は単層膜より著しく小さい。
1 0 0 0 シリコンの水による境界潤滑条件下の摩耗損傷と接触応力の関係
- 著者
- 三宅 正二郎 秋山 幸弘 宮崎 俊行 榎本 祐嗣
- 出版者
- 一般社団法人日本機械学会
- 雑誌
- 日本機械学會論文集. C編 (ISSN:03875024)
- 巻号頁・発行日
- vol.63, no.614, pp.3586-3591, 1997-10-25
- 被引用文献数
- 3
The tribological properties of silicon with and without water boundary lubrication with silicon, silicon carbide and a diamond tip were studied and the following results were obtained. (1) The friction coefficient between silicon and silicon or silicon carbide tips is as high as μ=0.2〜1.0, with and without lubrication. Surface damage occurred due to the adhesion between similar materials. (2) When a diamond is used as the opposite tip, the friction coefficient is as low as μ=0.09〜0.16 without lubrication. With water boundary lubrication, the friction coefficient is as low as μ=0.07. Damage is not observed on surfaces either with or without water boundary lubrication. (3) To determine the reason why sliding with the diamond tip did not result in damage, stress analysis was carried out using the boundary element method for each combination of materials. The maximum Mises stress was observed inside the silicon and diamond bulk when silicon and diamond were tested. However, the maximum Mises stress for the silicon with silicon and silicon carbide with silicon combination was observed.