- 著者
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田尻 秀幸
白石 偉久
近江 雅人
春名 正光
- 出版者
- 一般社団法人電子情報通信学会
- 雑誌
- 電子情報通信学会技術研究報告. OPE, 光エレクトロニクス
- 巻号頁・発行日
- vol.95, no.459, pp.7-12, 1996-01-18
- 参考文献数
- 13
我々は前回のOPE研究会で、低コヒーレンス光干渉に基づく新たな屈折率nと厚さt同時測定法を提案した。本測定法では、干渉計の参照光ミラーに加えて、測定サンプルまたは集光レンズをも微動ステージ上に搭載して走査する。本稿では、測定サンプル走査法によるn、t同時測定の基礎実験結果を示し、その測定精度について検討する。現状の測定系では、厚さ〜1mmの透明板においで測定精度≧0.3%が得られ、提案した測定法の有効性を実証した。また、0.1μm/ステップのステージを用いれば、サンプル厚≧100μmで測定精度0.1%が十分に期待できる。