著者

前澤 宏一 柴田 真吾 高岡 和央 森 雅之

出版者

一般社団法人電子情報通信学会

雑誌

電子情報通信学会技術研究報告. ED, 電子デバイス (ISSN:09135685)

巻号頁・発行日

vol.110, no.203, pp.19-23, 2010-09-06

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周波数変調信号を用いたFMΔΣアナログ-デジタル(AD)変換器は,高分解能,高いダイナミックレンジが可能というΔΣAD変換器の利点に加えて,高周波動作が容易であるという利点もある.また,この方式は,入力信号をFM信号に変換することにより,容易にアナログ-デジタル変換が可能なため,様々なセンサ一応用が可能である.ここでは,コンデンサマイクロフォン白身を共振器の一部に用いて高周波のFM信号を生成することにより,音響信号を直接デジタル信号に変換できるMEMSデジタルマイクロフォンセンサの可能性について調べた.SU-8を用いた簡易MEMSマイクロフォンと個別デバイスによりプロトタイプデバイスを作製し,その原理動作を実証した.