著者

一村 信吾 黒河 明 中村 健 野中 秀彦

出版者

The Japan Society of Applied Physics

雑誌

応用物理 (ISSN:03698009)

巻号頁・発行日

vol.67, no.6, pp.673-677, 1998

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液体オゾンの平衡蒸気圧を制御して高純度オゾンビームを供給する手法・装置と,高純度オゾンビームをシリコンの酸化反応,およびシリコン基板上の有機薄摸のエッチング反応に用いた研究を紹介した.オゾンと酸素ガス(分子)による酸化・エッチング反応の比較,およびこれらの表面反応の2倍高調波発生法 (SHG) とX線光電子分光法 (XPS) を用いた解析結果を遅して,オゾンから解離生成した原子状酸素の果たす役割と効果,およびオゾン照射と同時に紫外光を照射することで生成できる励起状態原子状酸素の優れた特徴を明らかにした.