- 著者
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坂本 直道
安野 拓也
八木 貴弘
寶諸 知史
向後 保雄
- 出版者
- 公益社団法人 精密工学会
- 雑誌
- 精密工学会学術講演会講演論文集
- 巻号頁・発行日
- vol.2004, pp.389-389, 2004
我々は将来のナノマシニングへの応用を狙い、FIB-CVD法を用いて形成したDLC構造体に関する研究を行っている。本研究ではDLC構造体の微細構造と構成原子の化学結合状態を明らかにすることを目的とする。解析には高分解能分析透過型顕微鏡を用いた。透過電子像から得られた回折像は明瞭なハローパターンを示し試料が非晶質であることを示した。またDLCの典型的な電子エネルギ損失分光スペクトルを得ることが出来た。