著者

竹岡 郁 小森 雅晴 久保 愛三 狩谷 悠史 伊藤 雄大 八田 健一郎 竹内 博之 吉住 恵一

出版者

公益社団法人 精密工学会

雑誌

精密工学会学術講演会講演論文集

巻号頁・発行日

vol.2005, pp.461-462, 2005

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歯車等の軸状機械部品はそのマイクロオーダーの形状が性能に大きく影響するため,厳しい品質管理が必要となる.原子間力プローブ式形状測定機は従来のCMMより高精度な測定を実現できる可能性があり,これまで非球面レンズ等の表面形状測定に用いられてきた.しかし,原子間力プローブ式形状測定法は上部からの表面形状測定であるため,軸状機械部品のように軸を基準としてその形状誤差が評価されるものに適用するためには,それに対応した測定アルゴリズムが必要となる.本研究では,原子間力プローブ式形状測定機による軸状機械部品の測定·評価法を提案する.また,この測定法に付随する誤差要因とその影響を明らかにする.