著者

青山 有紀子 荒木 真 谷口 淳 向後 保雄 宮本 岩男

出版者

公益社団法人 精密工学会

雑誌

精密工学会学術講演会講演論文集

巻号頁・発行日

vol.2003, pp.570, 2003

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FIB-CVD法を用いたDLC3次元ナノ構造物を高精度に制御でき、さらに高速にさせることが望まれている。そこで、イオンビームの走査速度を自由に制御できる方法を設計し、流量一定のガス雰囲気中で堆積率の変化を観察した。