著者

宮本 岩男

出版者

一般社団法人 日本物理学会

雑誌

日本物理学会誌 (ISSN:00290181)

巻号頁・発行日

vol.77, no.2, pp.103-107, 2022-02-05 (Released:2022-02-05)

参考文献数

5

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話題ビックデータ解析基盤(e-CSTI)を活用し「選択と集中」について考える

著者

宮本 岩男

出版者

研究・イノベーション学会

雑誌

研究 技術 計画 (ISSN:09147020)

巻号頁・発行日

vol.37, no.2, pp.144-159, 2022-10-15 (Released:2022-10-10)

参考文献数

6

著者

青山 有紀子 荒木 真 谷口 淳 向後 保雄 宮本 岩男

出版者

公益社団法人 精密工学会

雑誌

精密工学会学術講演会講演論文集

巻号頁・発行日

vol.2003, pp.570, 2003

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FIB-CVD法を用いたDLC3次元ナノ構造物を高精度に制御でき、さらに高速にさせることが望まれている。そこで、イオンビームの走査速度を自由に制御できる方法を設計し、流量一定のガス雰囲気中で堆積率の変化を観察した。

著者

宮本 岩男

出版者

公益社団法人 日本工学教育協会

雑誌

工学教育 (ISSN:13412167)

巻号頁・発行日

vol.62, no.6, pp.6_36-6_40, 2014 (Released:2014-12-05)

著者

花田 修賢 杉岡 幸次 高瀬 史裕 宮本 岩男 高井 裕司 緑川 克美

出版者

一般社団法人 スマートプロセス学会 (旧高温学会)

雑誌

高温学会誌 (ISSN:03871096)

巻号頁・発行日

vol.30, no.2, pp.105-110, 2004

被引用文献数

4

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Crack-free microfabrication of sapphire with little debris deposition and little swelling around ablated regions by laser-induced plasma-assisted ablation (LIPAA) using a second harmonic of Q-switched Nd:YAG laser is described. LIPAA process has been originally developed by ourselves in which merely a single conventional pulsed laser is used. In this process, the wavelength of laser beam must be transparent to the substrate, so that the laser beam goes through the substrate first and is then absorbed by a metal target placed behind. For laser fluence above ablation threshold for the target and below damage threshold for the substrate, the laser-induced plasma is generated from the metal target and then the species fly towards the rear surface of the substrates with very high speed. Due to the interaction of the laser beam and the plasma, ablation takes place at the rear surface of the substrate. Dependence of ablation depth and width of ablated grooves on scanning speed and target-substrate distance are investigated. Based on the obtained results, LIPAA process is applied for scribing of sapphire substrates. Double scan of laser beam with a shift of the focal point shows a great potential of high-quality scribing of sapphire substrates.

著者

花田 修賢 杉岡 幸次 高瀬 史裕 宮本 岩男 宮本 岩男 高井 裕司 緑川 克美

雑誌

レーザー学会研究会報告 = Reports on the Topical meeting of the Laser Society of Japan

巻号頁・発行日

vol.318, pp.7-12, 2003-12-15

参考文献数

8

著者

花田 修賢 杉岡 幸次 高瀬 史裕 宮本 岩男 高井 裕司 緑川 克美

出版者

高温学会

雑誌

高温学会誌 (ISSN:03871096)

巻号頁・発行日

vol.30, no.2, pp.105-110, 2004-03-30

著者

宮本 岩男 清原 修二

出版者

公益社団法人精密工学会

雑誌

精密工学会誌 (ISSN:09120289)

巻号頁・発行日

vol.61, no.10, pp.1377-1380, 1995-10-05

被引用文献数

1 1