- 著者
-
安達 正明
- 出版者
- 公益社団法人 精密工学会
- 雑誌
- 精密工学会学術講演会講演論文集
- 巻号頁・発行日
- vol.2016, pp.31-32, 2016
光軸方向に激しい光路差変動の残る状況で使える,波長シフト干渉計を用いる粗面物体の3次元形状計測法を開発している.これまで高温のドライヤー風を吹き付ける状況での形状計測結果を報告してきた.今回は,通電し高温になったハンダごての形状をドライヤーの冷風をあてて測定した.干渉像の位相抽出のための位相シフト量計算を行う空間サイズの効果を,こての温度別に評価した.