著者

安達 正明

出版者

公益社団法人 精密工学会

雑誌

精密工学会学術講演会講演論文集

巻号頁・発行日

vol.2016, pp.31-32, 2016

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光軸方向に激しい光路差変動の残る状況で使える,波長シフト干渉計を用いる粗面物体の3次元形状計測法を開発している.これまで高温のドライヤー風を吹き付ける状況での形状計測結果を報告してきた.今回は,通電し高温になったハンダごての形状をドライヤーの冷風をあてて測定した.干渉像の位相抽出のための位相シフト量計算を行う空間サイズの効果を,こての温度別に評価した.

著者

安達 正明 榎本 文彦 秋田 純一

出版者

金沢大学

雑誌

基盤研究(B)

巻号頁・発行日

2009

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振動下にある垂直走査型干渉計の光路差変化をレーザでリアルタイムかつ高速高精度に計測する手法を開発し,変化情報を基に一定の位相変化終了後毎にLED光を瞬間点灯させ干渉縞を撮影した.この手法で計測した形状結果を分析しさらなる高精度化には点灯 & 露光中に加わる振動もその影響を補正する必要を見出し,露光中の光路差変化履歴を基に振動影響を補正して位相を抽出する方法も開発し,その効果を実験で確認した.

著者

安達 正明 野中 聡 荒川 卓哉 野澤 はやぶさ 今田 正信 林 達哉 原渕 保明

雑誌

口腔・咽頭科 = Stomato-pharyngology (ISSN:09175105)

巻号頁・発行日

vol.16, no.1, 2003-08-10