著者

高木 雄也 高見 佳生 篠原 正典 松田 良信 藤山 寛

出版者

公益社団法人 日本表面科学会

雑誌

表面科学学術講演会要旨集

巻号頁・発行日

vol.32, 2012

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炭化水素プラズマで生成されCH₃など低分子量の化学種だけでなく、高分子量の化学種も重要となると考えられる。そこで、プラズマ中で生成される高次の化学種を制御することで,これまで以上に機能を持つ膜が形成できることが期待できる。高分子を原料としたプラズマ成膜の基礎的な知見を得るため,多重内部反射赤外吸収分光法を用いてエチレンによる成長過程を調べたので報告する。