著者

難波 義治 Beaucamp Anthony Charlton Phillip Grazianno Arthur

出版者

公益社団法人 精密工学会

雑誌

精密工学会学術講演会講演論文集

巻号頁・発行日

vol.2014, pp.609-610, 2014

---

ガラスを熱軟化成形もしくは熱加圧成形によりX線望遠鏡用非球面基板を作成することを実現するには高精度で安価な非球面金型を必要とする。これを実現するためにダイヤモンドシートを弾性工具に張り付けて超精密に研削する方法(SAG)を発明した。この方法の研削現象および応用について述べる。この場合、炭化ケイ素を研削のみで表面粗さ1 nm Ra以下に仕上げることができ、しかも工具寿命が極めて長いことを示す。