著者

秋山 裕亮 岡田 睦 鈴木 浩文 難波 義治 三村 健 古南 典正

出版者

公益社団法人 精密工学会

雑誌

精密工学会学術講演会講演論文集 2016年度精密工学会秋季大会

巻号頁・発行日

pp.15-16, 2016-08-20 (Released:2017-02-20)

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マイクロレンズアレイは従来、射出成形が主流であるが,加工に熱収縮を伴うため、寸法精度が確保しにくい.紫外線(UV)硬化樹脂成形では,紫外線照射で硬化するため,転写精度の向上が期待される.本研究では,Rバイトで無電解Ni製金型を超精密切削し、高精度が得られることを示した.さらに,この金型を用いたUV成形実験を行い,マイクロレンズアレイが精密成形でき、硬化時に空気圧を与えることで、精度が良好になった。

著者

難波 義治 Beaucamp Anthony Charlton Phillip Grazianno Arthur

出版者

公益社団法人 精密工学会

雑誌

精密工学会学術講演会講演論文集

巻号頁・発行日

vol.2014, pp.609-610, 2014

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ガラスを熱軟化成形もしくは熱加圧成形によりX線望遠鏡用非球面基板を作成することを実現するには高精度で安価な非球面金型を必要とする。これを実現するためにダイヤモンドシートを弾性工具に張り付けて超精密に研削する方法(SAG)を発明した。この方法の研削現象および応用について述べる。この場合、炭化ケイ素を研削のみで表面粗さ1 nm Ra以下に仕上げることができ、しかも工具寿命が極めて長いことを示す。