著者

後藤 晃平 谷口 淳

出版者

公益社団法人 精密工学会

雑誌

精密工学会学術講演会講演論文集

巻号頁・発行日

vol.2018, pp.851-852, 2018

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<p>先行研究では電子ビームリソグラフィにおいて、加速電圧により加工深さを制御することができることを明らかにした。そこで本研究ではこの加速電圧変調法を用いて機能性を持った三次元の生体模倣構造の作製に着手した。その結果、流体抵抗を軽減する鮫肌や撥水性と吸着性を合わせ持つばらの花表面の模倣構造の作製に成功した。本研究より、この加速電圧変調法を用いてより複雑で微細な三次元構造の作製が可能であると考えられる。</p>