1 0 0 0 OA UV-NIL可能ポジ型EBレジストを用いた三次元ナノ撥水構造の作製
- 著者
- 後藤 晃平 岡部 貴雄 谷口 淳
- 出版者
- 公益社団法人 精密工学会
- 雑誌
- 精密工学会学術講演会講演論文集 2019年度精密工学会春季大会
- 巻号頁・発行日
- pp.568-569, 2019-03-01 (Released:2019-09-04)
ハスの葉やバラの花を例とした撥水構造は同一表面上にマイクロとナノスケールの構造を含んだ三次元構造となっている。このような三次元ハイブリッド構造の作製方法はいくつか報告されているが、本研究では新たな手法としてUV-NIL可能ポジ型EBレジストを用いた方法を提案する。この方法ではUV-NILで作製したマイクロサイズの構造上に直接ナノ構造をEBLで作製することが可能であり、143.6°の接触角を有する三次元構造の作製に成功した。
1 0 0 0 加速電圧変調電子ビーム露光による三次元生体模倣構造の作製
- 著者
- 後藤 晃平 谷口 淳
- 出版者
- 公益社団法人 精密工学会
- 雑誌
- 精密工学会学術講演会講演論文集
- 巻号頁・発行日
- vol.2018, pp.851-852, 2018
<p>先行研究では電子ビームリソグラフィにおいて、加速電圧により加工深さを制御することができることを明らかにした。そこで本研究ではこの加速電圧変調法を用いて機能性を持った三次元の生体模倣構造の作製に着手した。その結果、流体抵抗を軽減する鮫肌や撥水性と吸着性を合わせ持つばらの花表面の模倣構造の作製に成功した。本研究より、この加速電圧変調法を用いてより複雑で微細な三次元構造の作製が可能であると考えられる。</p>