著者

大久保 淳 本田 智

出版者

公益社団法人 精密工学会

雑誌

精密工学会学術講演会講演論文集

巻号頁・発行日

vol.2020, pp.265-266, 2020

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<p>線径が20μm超極細ワイヤを用いてピッチ40μmのマイクロねじとマイクロナットを製作し,これらを組み合わせたマイクロ送りステージを開発した.この送りステージは,マイクをねじの両側にクルトガ機構を取り付け,クルトガ機構のレバーを1回動作(押し離し動作)させると,ナットが1μmずつ左右に移動する構造になっている.本報告では,ステージの構造・位置決め動作・実験による位置決め結果について報告する.</p>