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1 0 0 0 OA 顕微FCA測定によるSiCの深さ分解ライフタイム測定

著者
(M1)前 伸一 俵 武志 土田 秀一 加藤 正史
出版者
応用物理学会
雑誌
2017年第64回応用物理学会春季学術講演会
巻号頁・発行日
2017-02-03

言及状況

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【宣伝】2017年第64回応用物理学会春季学術講演会での加藤関連の発表その２。非破壊で半導体(SiC)内部のキャリアライフタイム分布を測定する技術。この測定も世界初だと思われる/顕微FCA測定によるSiCの深さ分解ライフタイム測定 https://t.co/mwvz0IAlIN

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