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1 0 0 0 4H-SiC埋め込みN/Vコドープによる短ライフタイム層の観測

著者
長屋 圭祐 平山 貴史 俵 武志 村田 晃一 土田 秀一 加藤 正史
出版者
応用物理学会
雑誌
2019年第66回応用物理学会春季学術講演会
巻号頁・発行日
2019-01-25

1 0 0 0 OA 顕微FCA測定によるSiCの深さ分解ライフタイム測定

著者
(M1)前 伸一 俵 武志 土田 秀一 加藤 正史
出版者
応用物理学会
雑誌
2017年第64回応用物理学会春季学術講演会
巻号頁・発行日
2017-02-03