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1 0 0 0 4H-SiC 厚膜エピの高注入ライフタイムおよび拡散長推定

著者
(M2)長屋 圭祐 平山 貴史 宮坂 晶 児島 一聡 加藤 智久 奥村 元 加藤 正史
出版者
応用物理学会
雑誌
2019年第80回応用物理学会秋季学術講演会
巻号頁・発行日
2019-07-10

言及状況

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2019年第80回応用物理学会秋季学術講演会における加藤関連発表その３。SiCに対するキャリアライフタイム測定です。空間分解能とライフタイムの値の信頼性を従来より向上させて、議論しています。/4H-SiC 厚膜エピの高注入ライフタイムおよび拡散長推定 https://t.co/zxLWRMttZh
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