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1 0 0 0 4H-SiC ウェハの表面ラフネス周辺におけるライフタイムマッピング

著者
長屋 圭祐 平山 貴史 加藤 正史
出版者
応用物理学会
雑誌
2019年第66回応用物理学会春季学術講演会
巻号頁・発行日
2019-01-25

言及状況

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2019年第66回応用物理学会春季学術講演会の加藤関連発表その３。SiCに対する高空間分解能ライフタイムマッピングの話/4H-SiC ウェハの表面ラフネス周辺におけるライフタイムマッピング https://t.co/dsJqeo9i2n

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