著者

中野 武雄

出版者

一般社団法人 日本真空学会

雑誌

Journal of the Vacuum Society of Japan (ISSN:18822398)

巻号頁・発行日

vol.57, no.8, pp.308-312, 2014 (Released:2014-08-25)

参考文献数

3

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Discharge plasma, especially that generated at low gas pressures, is an important application of vacuum technology. This article describes the unique features of low gas pressure plasma, generation of plasma discharge and various plasma parameters. Plasma-wall interaction, which is very important for many plasma-related technologies, is also discussed considering the collisionless sheath model.

著者

中野 武雄 小森 文夫 福谷 克之 谷本 育律

出版者

公益社団法人 日本表面真空学会

雑誌

表面と真空 (ISSN:24335835)

巻号頁・発行日

vol.62, no.1, pp.48-50, 2019-01-10 (Released:2019-01-10)

参考文献数

3