著者

井上 靖朗 山口 泰男

出版者

公益社団法人 応用物理学会

雑誌

応用物理 (ISSN:03698009)

巻号頁・発行日

vol.64, no.11, pp.1104-1110, 1995-11-10 (Released:2009-02-05)

参考文献数

32

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マルチメディア時代に向けた低消費電力デバイスの基板材料として有望視されているSOI基板およびその上に形成されたSOIデバイスの基礎と最近の開発動向および今後の課題についてまとめた.