1 0 0 0 OA 静電容量型6軸力覚センサの開発
- 著者
- 角谷 哲哉 田中 篤 江良 聡 永井 努 佐伯 和司 岡田 和廣
- 出版者
- 一般社団法人 電気学会
- 雑誌
- 電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌) (ISSN:13418939)
- 巻号頁・発行日
- vol.129, no.2, pp.41-46, 2009-02-01 (Released:2009-02-01)
- 参考文献数
- 9
- 被引用文献数
- 1 3
We have succeeded in developing a capacitive 6-axis force sensor that can singly detect 3-axis force and 3-axis moment. The capacitive 6-axis force sensor has an advantage of being able to realize high accuracy at low cost compared with conventional sensors using strain gauges. This paper details the sensor structure, detection principle, and detection circuit, as well as the performance, such as sensitivity, cross-axis sensitivity, and linearity of the capacitive 6-axis force sensor.
1 0 0 0 OA 静電容量型6軸力覚センサの開発・設計・製造
- 著者
- 佐伯 和司 西沖 暢久 鈴木 信人 岡田 和廣
- 出版者
- 公益社団法人 精密工学会
- 雑誌
- 精密工学会誌 (ISSN:09120289)
- 巻号頁・発行日
- vol.84, no.4, pp.307-310, 2018-04-05 (Released:2018-04-05)
- 参考文献数
- 7