著者

山岸 光 吉田 善一 坂上 榮松 守屋 俊浩 増澤 恒明 矢島 正男 池田 博通 尾坂 一 小口 京吾 若林 優治

出版者

公益社団法人 精密工学会

雑誌

精密工学会学術講演会講演論文集

巻号頁・発行日

vol.2008, pp.955-956, 2008

---

超精密微細な表面構造を持つ光学部品や、マイクロ医療用デバイスなどの加工を実現するために、ミリメートルからセンチメートルサイズの面積を、ナノメートルからマイクロメートオーダーで加工できる「レーザー・集束イオンビーム複合加工機」を開発した。この加工機は、FIBと3種類のレーザー、そしてAFMを有し、工作物の着脱無しで機上計測しながら、デバイス形状の全体に亘り、超精密微細三次元構造を加工できる。