著者

小野 雅敏 梶村 皓二 水谷 亘 岡山 重夫 岡野 真 徳本 洋志 阪東 寛 村上 寛

出版者

公益社団法人 応用物理学会

雑誌

応用物理 (ISSN:03698009)

巻号頁・発行日

vol.56, no.9, pp.1126-1137, 1987-09-10 (Released:2009-02-09)

参考文献数

53

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走査型トンネル顕微鏡は,固体表面の個々の原子を識別することができる新しい手法であり, 1986年のノーベル物理学賞の対象となったものである.その原理,装置技術や応用についての現状を紹介し,今後の課題や発展の方向について述べる.