3 0 0 0 OA プロセスプラズマの基礎
- 著者
- 岡本 幸雄
- 出版者
- 一般社団法人 日本真空学会
- 雑誌
- Journal of the Vacuum Society of Japan (ISSN:18822398)
- 巻号頁・発行日
- vol.59, no.7, pp.161-170, 2016 (Released:2016-07-16)
- 参考文献数
- 11
- 被引用文献数
- 3
プラズマを用いた微細加工や成膜などのプラズマプロセスにおけるプラズマの基礎的な事項(プラズマの性質と基礎量,プラズマ中の素過程,荷電粒子の消滅過程,イオンシースの形成と性質,主なプラズマの生成原理と基本的な特性および電子温度の制御法など)について解説した.
1 0 0 0 OA ノーマン・スワロー著 大谷堅志郎訳『現場からのテレビ番組論』(岩崎放送出版社)
- 著者
- 岡本 幸雄
- 出版者
- 日本マス・コミュニケーション学会
- 雑誌
- 新聞学評論 (ISSN:04886550)
- 巻号頁・発行日
- no.19, pp.153-155, 1970-05-01