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1 0 0 0 OA 昇華法によるSiCバルク単結晶成長

著者
杉山 尚宏 岡本 篤人
出版者
公益社団法人 応用物理学会
雑誌
応用物理 (ISSN:03698009)
巻号頁・発行日
vol.70, no.5, pp.569-570, 2001-05-10 (Released:2009-02-05)
参考文献数
6