著者

後藤 晃平 岡部 貴雄 谷口 淳

出版者

公益社団法人 精密工学会

雑誌

精密工学会学術講演会講演論文集 2019年度精密工学会春季大会

巻号頁・発行日

pp.568-569, 2019-03-01 (Released:2019-09-04)

---

ハスの葉やバラの花を例とした撥水構造は同一表面上にマイクロとナノスケールの構造を含んだ三次元構造となっている。このような三次元ハイブリッド構造の作製方法はいくつか報告されているが、本研究では新たな手法としてUV-NIL可能ポジ型EBレジストを用いた方法を提案する。この方法ではUV-NILで作製したマイクロサイズの構造上に直接ナノ構造をEBLで作製することが可能であり、143.6°の接触角を有する三次元構造の作製に成功した。