- 著者
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小林 勇輝
後藤 惟樹
遠藤 勝義
山崎 大
丸山 龍治
林田 洋寿
曽山 和彦
山村 和也
- 出版者
- 公益社団法人 精密工学会
- 雑誌
- 精密工学会学術講演会講演論文集
- 巻号頁・発行日
- vol.2017, pp.973-974, 2017
中性子応用計測において,集光デバイスを用いた中性子線の高強度化による測定時間の短縮が求められている.我々はマイクロ波プラズマジェットを用いた数値制御PCVMにより,石英ガラス製のマンドレルを作製し,その上にNiC/Tiの多層膜を積層し,これを離型することで,中性子集光用Wolter Ⅰ型スーパーミラーの作製を目指している.本報では,石英ガラス製回転体試料へマイクロ波プラズマジェット加工を適用し,その加工特性について評価した.