著者

小林 勇輝 後藤 惟樹 遠藤 勝義 山崎 大 丸山 龍治 林田 洋寿 曽山 和彦 山村 和也

出版者

公益社団法人 精密工学会

雑誌

精密工学会学術講演会講演論文集

巻号頁・発行日

vol.2017, pp.973-974, 2017

---

中性子応用計測において,集光デバイスを用いた中性子線の高強度化による測定時間の短縮が求められている.我々はマイクロ波プラズマジェットを用いた数値制御PCVMにより,石英ガラス製のマンドレルを作製し,その上にNiC/Tiの多層膜を積層し,これを離型することで,中性子集光用Wolter Ⅰ型スーパーミラーの作製を目指している.本報では,石英ガラス製回転体試料へマイクロ波プラズマジェット加工を適用し,その加工特性について評価した.

著者

原 安寛 山村 和也

出版者

公益社団法人 精密工学会

雑誌

精密工学会学術講演会講演論文集 2012年度精密工学会秋季大会

巻号頁・発行日

pp.329-330, 2012-09-01 (Released:2013-03-01)

---

フッ素樹脂の低摩擦特性が、高い免震性能を有するすべり支承のベアリング材として注目されている。本研究では、大気圧プラズマ処理によるフッ素樹脂(PTFE)の表面改質を行い、接着剤として用いるエポキシ樹脂界面との密着強度の向上を図った。プラズマ処理によりPTFE表面上に形成された過酸化物ラジカルの存在形態や、各プラズマ処理条件によるPTFE表面モホロジーの変化を観察し、密着強度向上のメカニズムについて考察を行った。

著者

佐野 泰久 山村 和也 遠藤 勝義 森 勇蔵 サノ ヤスヒサ ヤマムラ カズヤ エンドウ カツヨシ モリ ユウゾウ

出版者

大阪大学低温センター

雑誌

大阪大学低温センターだより (ISSN:03874419)

巻号頁・発行日

no.125, pp.11-15, 2004-01

---

研究ノート

著者

山本 有悟 荒川 翔平 川合 健太郎 有馬 健太 丸山 龍治 林田 洋寿 曽山 和彦 山村 和也

出版者

公益社団法人 精密工学会

雑誌

精密工学会学術講演会講演論文集

巻号頁・発行日

vol.2020, pp.415-416, 2020

---

<p>我々は,大気圧マイクロ波プラズマCVMを用いた中性子顕微鏡用Wolterミラーマンドレルの数値制御加工に取り組み,形状精度約0.5 µmを達成した.実用的な集光性能を得るためには表面粗さの改善が不可欠であるが,プラズマCVMの適用のみでは目標とする表面粗さの実現には至っていない.本報では加工後のマンドレル表面をPSD解析し,プラズマCVMの加工特性を評価した.</p>

著者

荒川 翔平 山本 有悟 川合 健太郎 有馬 健太 山崎 大 丸山 龍治 林田 洋寿 曽山 和彦 山村 和也

出版者

公益社団法人 精密工学会

雑誌

精密工学会学術講演会講演論文集

巻号頁・発行日

vol.2020, pp.389, 2020

---

<p>我々は数値制御プラズマCVMによる中性子顕微鏡用Wolterミラーマンドレルの作製に取り組んでいる.プラズマCVMは化学的な加工法であるため,材料除去率は表面温度に依存する.マンドレルは先細り形状の合成石英棒であるため,プラズマ照射時の温度上昇は先端ほど大きく,材料除去率の上昇分を照射時間で補正する必要がある.本報ではプラズマ照射時間の補正後に,マンドレルを形状修正した結果を報告する.</p>

著者

山内 和人 山村 和也 佐野 泰久 稲垣 耕司 三村 秀和 森 勇藏

出版者

大阪大学

雑誌

基盤研究(S)

巻号頁・発行日

2003

---

本年度(平成18年4月〜平成18年7月)の研究実績1 走査型蛍光X線顕微鏡システムの構築これまで開発を進めてきた、ナノ集光システムの後段に、既存のXYステージと蛍光X線ディテクターを装着させ、走査型の蛍光X線顕微鏡システムを構築した。XYステージには、0.01μm分解能のステージを用いた。蛍光X線ディテクターからの波形分布を、各ポイントで取得可能なシステムとし、複数の元素マップを取得することを可能とした。SPring-8のBL29XULにおいて、テストパターンによるシステムの動作確認と、細胞内の元素分布の観察を行った。テストパターンはFIB (Focused Ion Beam)により作製した。顕微鏡システムの空間分解能のテストを行った結果、30nmの分解能でテストバターンに書かれていた文字を画像化することができた。細胞観察では、細胞内の核やミトコンドリアの観察において、同時に複数の元素分布を可視化することに成功した。2 ブロジェクション顕微鏡システムの予備検討ブロジェクション型顕微鏡システムとしては、将来的な発展性を考慮すると、近年注目をあびているX線回折顕微鏡の導入が不可欠であり、検討を開始した。本手法は、X線の透過強度分布から、集光点近傍のサンプル内の電子分布を求めるものであり、原理的にナノメートルの空間分解能を持つ顕微鏡手法として有力である。今年度は、位相回復法と呼ばれる数学的手法に基づくブログラムを開発した。そして、ミラー集光光学系においても、透過強度分布からサンブルの電子構造を求めることが可能であることがわかった。