著者

池野 順一 斎藤 弘憲 斎藤 奈美子 竹村 貴人

出版者

社団法人 砥粒加工学会

雑誌

砥粒加工学会誌 (ISSN:09142703)

巻号頁・発行日

vol.53, no.3, pp.174-179, 2009-03-01 (Released:2010-07-09)

参考文献数

7

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研磨加工に替わって効率よくクリーンな鏡面創成が実現できれば有益である.対策の1つとして研削加工が挙げられるが,砥粒を微細化しただけの従来仕上げ用砥石では,研磨加工に及ばないのが現状である.そこで本研究では,研磨加工に匹敵する仕上げが可能となる研削砥石の開発を試みた.開発のヒントを天然砥石の仕上げ砥(合砥)に求め,その組成や構造を調した.その結果から合砥に基づいた人工砥石を提案し,積層構造を持つシリカ雲母砥石を開発した.この砥石を用いて3インチシリコンウエハの定圧研削を行った結果,1nmRa,7nmRzの鏡面創成が可能であることがわかった.