著者

松村 正清

出版者

公益社団法人 応用物理学会

雑誌

応用物理 (ISSN:03698009)

巻号頁・発行日

vol.65, no.8, pp.841-848, 1996-08-10 (Released:2009-02-05)

参考文献数

15

被引用文献数

1

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薄膜トランジスタ (TFT: Thin-Film Translsto) は長い歴史を持ってはいるが,その有用性が広く認められたのはこく最近である.この急速に重要性を増しているTFTについて,その生まれと育ち,未来展望,動作原理,構造と種類などを概説する.