著者

梶原 優介 林 冠廷 金 鮮美 小宮山 進

出版者

東京大学生産技術研究所

雑誌

生産研究 (ISSN:0037105X)

巻号頁・発行日

vol.65, no.6, pp.811-815, 2013-11-01 (Released:2014-02-25)

参考文献数

12

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本解説では,試料自身からの放射光をナノスケールで検出する新概念の顕微技術について紹介する.まず,THz 検出器CSIPや散乱型近接場光学系を導入することによって構築したパッシブ型THz近接場顕微鏡について説明し,空間分解能60nm (波長の1/250)にてTHzエバネッセント波を検出した観測例を示す.応用展開例の1つとして,ナノサーモメトリーについても紹介する.