著者

橋本 嵩広 町田 雅武

出版者

公益社団法人 応用物理学会

雑誌

応用物理 (ISSN:03698009)

巻号頁・発行日

vol.91, no.9, pp.568-572, 2022-09-01 (Released:2022-09-01)

参考文献数

8

---

光電子分光法は物質の電子状態を直接観測する実験手法です.特に,硬X線光電子分光法(Hard X-ray Photoelectron Spectroscopy: HAXPES)を用いると,電子デバイスの内部を非破壊で化学結合状態の分析ができます.近年,光源や光電子分析器の開発の進展により,実験室でのHAXPES測定が可能になりました.本稿では,光電子分光法の基礎原理に加えて,Ga線源を用いた実験室系HAXPES装置を用いた深さ分解測定や,データサイエンスを用いた深さ分布の解析手法について紹介します.