- 著者
- 伊藤 茅 清原 修二 田口 佳男 杉山 嘉也 小俣 有紀子 倉島 優一 滝川 浩史
- 出版者
- 公益社団法人 日本表面科学会
- 雑誌
- 表面科学学術講演会要旨集
- 巻号頁・発行日
- vol.30, pp.312, 2010
室温で高粘性であり空気中の水分と反応し、徐々に硬化する特性を有するポリシロキサンを転写材料として提案し、マイクロラインパターンを有するガラス状炭素モールドを用いて室温硬化インプリントした。その過程で、湿度が転写パターンに与える影響について検討した。その結果、高湿度(80%)~低湿度(50%)において転写パターンに影響はなく、高精度にインプリントできることが分かった。
1 0 0 0 OA 走査電子顕微鏡による二次電子放出特性を用いた立体像の構築とその応用
- 著者
- 村田 雅人 向井 喜彦 田口 佳男 堀田 昌直
- 出版者
- 社団法人溶接学会
- 雑誌
- 溶接学会論文集 : quarterly journal of the Japan Welding Society (ISSN:02884771)
- 巻号頁・発行日
- vol.9, no.3, pp.134-139, 1991-08-05
- 被引用文献数
- 7
Intensity of secondary electron induced by incident electron beam depends on a degree of inclination of surface. In the present work, 3-dimensional image for fracture surface was tried to constitute by applying this secondary elecron property with improved type SEM equipment which had four secondary electron detectors to remove a image distortion caused by observating direction. As the results, we could obtain 3-dimensional image and measured direction depth of fracture surfaces by real time treatment with 32 bit personal computer. In the case, the calculation time for one fractograph analysis was about only 5 minutes.