- 著者
- 伊藤 茅 清原 修二 田口 佳男 杉山 嘉也 小俣 有紀子 倉島 優一 滝川 浩史
- 出版者
- 公益社団法人 日本表面科学会
- 雑誌
- 表面科学学術講演会要旨集
- 巻号頁・発行日
- vol.30, pp.312, 2010
室温で高粘性であり空気中の水分と反応し、徐々に硬化する特性を有するポリシロキサンを転写材料として提案し、マイクロラインパターンを有するガラス状炭素モールドを用いて室温硬化インプリントした。その過程で、湿度が転写パターンに与える影響について検討した。その結果、高湿度(80%)~低湿度(50%)において転写パターンに影響はなく、高精度にインプリントできることが分かった。
1 0 0 0 集束ビーム加工による形状創成(<特集>3次元微細形状創成技術)
- 著者
- 宮本 岩男 清原 修二
- 出版者
- 公益社団法人精密工学会
- 雑誌
- 精密工学会誌 (ISSN:09120289)
- 巻号頁・発行日
- vol.61, no.10, pp.1377-1380, 1995-10-05
- 被引用文献数
- 1 1