- 著者
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山田 隆一
石田 徹吾
柳 和久
- 出版者
- 公益社団法人 精密工学会
- 雑誌
- 精密工学会学術講演会講演論文集
- 巻号頁・発行日
- vol.2005, pp.625-625, 2005
産業界で広く用いられている静電容量型変位センサを用いた2点法による回転誤差測定と、本研究で開発した光学式仮想Vブロック方式を用いた3点法による回転誤差測定を比較検討した。その結果、提案した仮想Vブロック方式は被測定マスターバーの形状精度の影響をほとんど受けないことを明らかにした。また、被測定マスターバーの2断面を測定することにより、マスターバーの偏心と傾きを回転誤差から分離できることを示した。