著者

永吉 径 神谷 庄司 ガスパー ジョアオ オリバー ポール

出版者

一般社団法人日本機械学会

雑誌

年次大会講演論文集 : JSME annual meeting

巻号頁・発行日

vol.2009, no.8, pp.59-60, 2009-09-12

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A method of damage based prediction of static strength of MEMS structures fabricated by Bosch process was proposed. Four points bending tests in different bending directions were performed in order to evaluate the distribution of damage-characteristics on the processed surface as a function of position along the etching direction. As a result, the static strength of notched specimens was successfully predicted from the characteristics obtained with the specimens without notch.-

著者

神谷 庄司 林 高弘 徳田 豊

出版者

名古屋工業大学

雑誌

基盤研究(B)

巻号頁・発行日

2008

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シリコンの長期疲労破壊確率の統計的評価・推測法を確立した。また、これを用いて上活性環境中の疲労寿命を予測し、それまでに提唱されていた表面の酸化反応とは異なる疲労機構の存在の可能性を明らかにした。さらにシリコン表面の機械的.傷の電子的検出に成功し、.傷の電子状態が環境中の水蒸気等のガス分子によって変化することを初めて明らかにするとともに、湿潤環境下における疲労寿命低下のメカニズムが表面現象以外にもあり得ることを指摘した。